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Yamato潔凈厭氧高溫氣氛爐 DTN430C/630C/450C/650C 簡介

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品品牌

YAMATO雅馬拓

產(chǎn)品類型

實(shí)驗(yàn)儀器

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產(chǎn)品簡介

潔凈厭氧高溫氣氛爐DTN430C/630C/450C/650C潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

Yamato潔凈厭氧高溫氣氛爐 DTN430C/630C/450C/650C 詳情介紹

特點(diǎn)
●最高工作溫度360℃和500℃。
●采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。
●高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時(shí)間短，N2 消耗量極低。
●磁密封保持高氣密性，采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。
●可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
●標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對氣體進(jìn)行冷卻回收。

安全性
●門檢測開關(guān)
●溫度過升防止器
●氧濃度異常安全裝置
●氮?dú)鈮毫z測
●氮?dú)饬髁繖z測
●冷卻水流量檢測
●漏水傳感器
●過電流漏電漏電保護(hù)開關(guān)

Yamato潔凈厭氧高溫氣氛爐 DTN430C/630C/450C/650C產(chǎn)品規(guī)格

Yamato潔凈厭氧高溫氣氛爐 DTN430C/630C/450C/650C參數(shù)

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