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日本HORIBA堀場(chǎng)數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LF/LV 簡(jiǎn)介

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品品牌

HORIBA堀場(chǎng)

產(chǎn)品類(lèi)型

質(zhì)量流量計(jì)/控制器

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完善

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

隨著半導(dǎo)體器件快速一體化的發(fā)展，越來(lái)越多的細(xì)節(jié)需要考慮其中，同時(shí)新的材料也被引入 300nm 晶圓制程以確保產(chǎn)品性能。在這樣的背景下，更多的液體被應(yīng)用到半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，流量需求不斷增大。作為該領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者，HORIBA STEC 提供了一整套的液體源汽化控制系統(tǒng)，利用加熱、直接注入、混合注入等不同方式確保平穩(wěn)有效的將氣體傳送到反應(yīng)室。自動(dòng)供液系統(tǒng)能不間斷的安全可靠的傳輸液體，從而提高工作效率，同時(shí)有效降低了操作員的手動(dòng)操作以及制程污染風(fēng)險(xiǎn)。

日本HORIBA堀場(chǎng)數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LF/LV 詳情介紹

數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F

這是一款具備冷卻測(cè)試方式的液體質(zhì)量流量計(jì)，可精確檢測(cè)低沸點(diǎn)和高粘度液體的流量，儀器內(nèi)部進(jìn)行超潔凈處理并符合RoHS 環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)

提供超低微小流量檢測(cè)
抗壓性 : 10MPa
超潔凈

數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LV-F

這是一款具備冷卻測(cè)試方式的流量傳感器，可精確控制低沸點(diǎn)和高粘度液體的流量，儀器內(nèi)部進(jìn)行超潔凈處理并符合 RoHS 環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)

提供超低微小流量控制
可精準(zhǔn)控制低沸點(diǎn)和高粘度液體
抗壓性 : 1MPa
超潔凈

日本HORIBA堀場(chǎng)數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LF/LV產(chǎn)品規(guī)格

日本HORIBA堀場(chǎng)數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)LF/LV參數(shù)

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