金屬墊片面密封接頭在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用介紹

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在半導(dǎo)體行業(yè)使用的純流體系統(tǒng)中，接頭的選擇是關(guān)鍵點(diǎn)之一，常見的選擇是焊接接頭，但焊接接頭不適用于那些需要定期更換或維護(hù)的連接，而采用非金屬材料的 O 形圈密封接頭則可能面臨和介質(zhì)不兼容的問(wèn)題。有沒(méi)有一種接頭即方便安裝和拆卸，又能和介質(zhì)兼容，還能保證可靠的密封呢? 答案是金屬墊片面密封接頭。這種接頭的密封元件采用金屬墊片，其主要優(yōu)點(diǎn)如下：

金屬對(duì)金屬硬密封，密封性好：擰緊螺母時(shí)，兩端的接管會(huì)從兩個(gè)方向擠壓金屬墊片，由于接管密封面的硬度>金屬墊片（飛托克的316L不銹鋼材質(zhì)的接管密封面比同種材質(zhì)的墊片硬度109HV，比鎳材質(zhì)墊片硬度158HV），因此金屬墊片會(huì)產(chǎn)生輕微的變形，接管和金屬墊片之間形成緊密的面密封以保證密封性能，飛托克產(chǎn)品在使用316L不銹鋼材質(zhì)鍍銀墊片、鎳材質(zhì)鍍銀墊片和銅墊片時(shí)氦氣泄漏率 4x10^-9 std cm³/s，使用316L不銹鋼材質(zhì)和鎳材質(zhì)電解拋光墊片時(shí)氦氣泄率 4x10^-11 std cm³/s；

可重復(fù)拆裝使用：擠壓金屬墊片不會(huì)損傷接管密封面，因此可以重復(fù)拆裝使用，僅需每次更換密封墊片，維護(hù)成本低；

無(wú)死區(qū)，不易殘留，易吹掃：金屬墊片面密封接頭的結(jié)構(gòu)使得密封元件能被氣體完全吹掃，因而消除了殘留導(dǎo)致的污染風(fēng)險(xiǎn)；

安裝和拆卸方便：這種接頭安裝和拆卸簡(jiǎn)單，只需要常規(guī)工具即可完成，可以大幅提高安裝和維護(hù)的效率。