HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器介紹

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器介紹

HORIBA MV-2000 系列液體汽化器，采用創(chuàng)新的螺旋流加熱技術(shù)，專為高精度化學(xué)氣相沉積和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域設(shè)計(jì)。該系列產(chǎn)品能在低溫條件下實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的汽化，特別適合處理包括高介電常數(shù)（"High-k"）材料在內(nèi)的各種敏感化學(xué)液體。

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器主要特性

• 螺旋流加熱技術(shù)：MV-2000 系列的核心技術(shù)特色之一，通過(guò)螺旋流動(dòng)的加熱方式，確保加熱過(guò)程的均勻性和連續(xù)性，有效減少液體分解的風(fēng)險(xiǎn)，實(shí)現(xiàn)在較低溫度下的穩(wěn)定汽化。
• 高流量汽化能力：該系列汽化器設(shè)計(jì)滿足大規(guī)模工業(yè)應(yīng)用需求，提供高流量的汽化選項(xiàng)，以增強(qiáng)整體的工藝穩(wěn)定性。
• 適用于易熱解的液體源：MV-2000 不僅適用于傳統(tǒng)的液體源，還能處理易于熱解的化學(xué)物質(zhì)，擴(kuò)展了其在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用范圍。

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器產(chǎn)品規(guī)格

• 型號(hào)：MV-2000
• 耐腐蝕材料：使用 SUS316L 和 PFA 材料，確保在處理具有侵蝕性的化學(xué)液體時(shí)的耐久性和安全性。
• 密封性能：采用 VCR 接頭，提供嚴(yán)密的密封性能，有效防止任何外部污染。
• 工作溫度范圍：15-50°C，可在廣泛的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定工作。
• 最大壓力：1MPa（表壓），確保在高壓環(huán)境下的安全使用。

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器應(yīng)用領(lǐng)域

HORIBA MV-2000 系列液體汽化器適用于半導(dǎo)體制造、化學(xué)氣相沉積以及其他需要精準(zhǔn)控制化學(xué)反應(yīng)的高科技產(chǎn)業(yè)。此外，該設(shè)備的高適應(yīng)性和可靠性使其成為涉及高介電材料處理的理想選擇。

HORIBA MV-2000 系列液體汽化器以其高效的性能和先進(jìn)的技術(shù)，為化學(xué)氣相沉積和半導(dǎo)體制造行業(yè)提供了一種高效且可靠的解決方案，有效支持行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和生產(chǎn)效率的提升。