HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)介紹

2025-03-06 09:46

HORIBA QL系列微孔系統(tǒng) - 四極桿質(zhì)量分析儀 MICROPOLE系統(tǒng)

HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)中的四極桿質(zhì)量分析儀 MICROPOLE系統(tǒng)是市場(chǎng)上最小的質(zhì)譜儀之一，專為高靈敏度和高壓操作設(shè)計(jì)。其緊湊的尺寸和高性能使其成為許多腔室表征應(yīng)用的理想選擇，特別適用于需要集成到復(fù)雜系統(tǒng)中的場(chǎng)合。

HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)核心特性與優(yōu)勢(shì)

  • 緊湊與輕便: MICROPOLE系統(tǒng)的體積和重量都極其小巧，僅為傳統(tǒng)殘余氣體分析儀的1/20，使其易于集成到幾乎任何系統(tǒng)中。

  • 高性能設(shè)計(jì): 該系統(tǒng)配備了9個(gè)四極桿的迷你陣列，盡管體積僅為傳統(tǒng)四極桿的一小部分，卻能提供出色的靈敏度。

  • 高壓操作能力: MICROPOLE系統(tǒng)能夠在高達(dá)0.9Pa（7mTorr, 9 x 10^-3mbar）的壓力下運(yùn)行，這一特性大大減少了許多應(yīng)用中對(duì)昂貴真空泵的需求。

  • 可互換傳感器頭: 傳感器頭在出廠前已進(jìn)行預(yù)調(diào)和校準(zhǔn)，用戶無(wú)需任何微調(diào)或?qū)ｉT技術(shù)即可輕松在現(xiàn)場(chǎng)更換。

  • 網(wǎng)絡(luò)化傳感器功能: 通過(guò)RS-485接口，一臺(tái)PC可監(jiān)控多達(dá)八個(gè)傳感器，同時(shí)支持無(wú)PC的外部I/O掃描操作。

  • 用戶友好型軟件: Micropole Scanner™2軟件支持用戶以多種模式監(jiān)測(cè)氣體分壓，包括趨勢(shì)圖、光譜圖和條形圖，增強(qiáng)了操作的便利性和多功能性。

HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域

HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)的四極桿質(zhì)量分析儀適用于半導(dǎo)體制造、材料研究、表面科學(xué)以及高真空系統(tǒng)的測(cè)試和監(jiān)控。它的高靈敏度和能在較高壓力下操作的特性，特別適合于復(fù)雜的科研和工業(yè)應(yīng)用，能夠提供實(shí)時(shí)、精確的氣體分析數(shù)據(jù)，優(yōu)化生產(chǎn)流程和產(chǎn)品質(zhì)量。

總結(jié)而言，HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)的四極桿質(zhì)量分析儀 MICROPOLE系統(tǒng)，以其創(chuàng)新的技術(shù)和緊湊的設(shè)計(jì)，為精確氣體分析提供了強(qiáng)大的工具，是實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)環(huán)境中不可或缺的設(shè)備。